低本底αβ测量仪主要由探测器单元，信号处理单元和屏蔽单元等组成。测量时，探测器记录入射的α、β粒子，计数率与样品中核素活度成正比。探测器单元由主探测器、反符合探测器等构成，置于屏蔽单元内。信号处理单元由计算机和测量主机构成。屏蔽单元由铅和钢等材料制成。
半导体探测器已广泛用于 α 谱分析，其---优点是设备简单，分辨率高，但其缺点是探 测面积太小，一路船载低本底报价，因而除了微孔滤纸空气样品以外，需要进行化学分离制样，由于化学分离制备样品，其方法总是具有化学特---，因而制样的过程中会丢失某些核素。 程序一般较繁，耗费时间长，所以只适用于分析单个或少数几个已知核素，不适用于未知样品的全核素分析，这就带来---的局限性。
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